プラズマ技術

高エネルギー状態のプラズマ発生技術、制御技術およびプラズマ応用技術としてのプロセス技術の開発経験および量産ラインへの導入実績を多数有します。プラズマの種類（発生方法）には大きく分けて、真空プラズマおよび大気圧プラズマがあります。両方プラズマ技術でのプロセス開発、装置開発（量産向け装置）の実績を有します。