TECHNOLOGY

プラズマ技術

高エネルギー状態のプラズマ発生技術、制御技術およびプラズマ応用技術としてのプロセス技術の開発経験および量産ラインへの導入実績を多数有します。プラズマの種類(発生方法)には大きく分けて、真空プラズマおよび大気圧プラズマがあります。両方プラズマ技術でのプロセス開発、装置開発(量産向け装置)の実績を有します。

表面設計・形成技術

材料の表面状態および界面状態の最適設計が、機能性を実現するために非常に重要になります。当社では、個別工程での最適化ではなく、複数ステップ工程(モジュール工程)での最適化を実現する設計および形成技術の提供が可能です。

評価技術・制御技術

表面界面設計に基づく生産を実現するには、プロセス評価技術およびプロセス(モジュール)制御技術が重要となります。プロセス評価技術に関しては、インラインで用いることが可能な要素技術の提供が可能です。また、インライン評価技術から得られたデータをAI技術を含む先端解析技術により分析を行うことにより、歩留まり向上を含む生産性向上へのフィードバックを可能としています。